1. 给轴承降温, 延长了分子泵的使用寿命
2. 减少轴承滚珠磨损
3. 清洗分子泵轴承, 避免污染物附着在轴承上
脂润滑不具备以上优点, 而且易残留, 容易导致分子泵的故障率高
上海伯东 HiPace 系列涡轮分子泵技术规格
|
型号 |
进气口 DN |
压缩比 |
极限真空 hPa |
抽速 l/s |
|||||||||
|
N2 |
He |
H2 |
Ar |
N2 |
He |
H2 |
Ar |
||||||
|
HiPace 10 |
25 |
3X106 |
3X103 |
3X102 |
2.5X108 |
< 5X10-5 |
10 |
6 |
3.7 |
11.5 |
|||
|
HiPace 80 |
40 /63 |
1X1011 |
1.3X107 |
1.4X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
67 |
58 |
48 |
66 |
|||
|
HiPace 300 |
100 |
1X1011 |
1X108 |
9X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
260 |
255 |
220 |
255 |
|||
|
HiPace 700 |
160 |
>1X1011 |
3X107 |
14X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
685 |
655 |
555 |
665 |
|||
|
HiPace 1200 |
200 |
>1X108 |
2X104 |
6X103 |
>1X108 |
< 5X10-10 |
1250 |
1300 |
1100 |
1200 |
|||
|
HiPace 2300 |
250 |
>1X108 |
3X105 |
2X104 |
>1X108 |
< 5X10-10 |
1900 |
2000 |
1850 |
1800 |
|||
极限真空为实验室理想值
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 系列获得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 认证. 特别适用于质谱分析, 电子显微术, 测量技术, 粒子加速和等离子体物理方面的应用. 除了用于分析, 真空工艺和半导体技术外, 还可用于真空镀膜, 研发以及工业领域.
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