一、CF4泄漏分析仪技术原理：
DKG-ONECF4气态分子污染物四氟化碳CF4泄漏分析仪是基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术，结合量子级联激光（QCL）光源，工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了足够的灵敏度可以无时延的探测微小浓度的CF4喷溅或者溢出，同时保证了超高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个月甚至几年，大大减低了总体持有成本。
二、CF4泄漏分析仪特点：
l高选择性的监测痕量水平的CF4
l检测下限(LoD)低于0.1ppb
l响应时间可设置，从10秒到几分钟
l动态范围宽，运行稳定
l无耗材
l低样品量（几ml）
l内置气体交换系统
l重新校准间隔长（几个月）
l直观的用户界面
l内置显示屏，可数字式或者图线式显示结果
l可通过局域网远程操作
三、测量参数：
l响应时间：取决于用户可定义通道积分时间CIT以及气体冲洗设定。根据平均时间和采样设定从大约10秒到几分钟不等
l监测下限：小于0.1ppb
l动态量程：大于5个数量级（检测下限的100,000倍)
l重复性：运行条件下，校准浓度重复性小于1%
l准确度：校准浓度高于5%，受限于校准气体准确度
l温度稳定性：在运行温度范围内的环境温度变化不会导致漂移
l压力稳定性：压力范围内的样品压力变化不会导致漂移
四、通用：
l19"3U外壳，适用于台式或者机架固定安装
l尺寸：48.4cmWx13.9cmHx44cmD(19.1inWx5.5inHx17.3inD)
l重量：约13Kg
l内置计算机，带7"宽屏显示器
l数据存储：在短采样间隔连续监测的情况下，足够存储一年
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